Ano: 1998
Título:
ESTUDO DAS PROPRIEDADES MECÂNICAS DOS FILMES DE 
DIAMANTE-CVD CRESCIDOS SOBRE A LIGA Ti6A14V
Palavra Chave: Propriedades Mecânicas dos Filmes de Diamante-CVD
Diamante-CVD		 Filmes Finos
Aderência		 Ti6A14V
Stress		 Tensões em Filmes
Autor: SOUZA, Teófilo Miguel de 
Orientador: Vladimir Jesus Trava-Airoldi
Banca
Examinadora:		 Carlos de Moura Neto Evaldo José Corat Alain Laurent M. Robin
Resumo: Este trabalho é o resultado de um estudo na área de crescimento de filmes de diamante-CVD desenvolvido em cooperação com o Departamento de Engenharia de Materiais da Faculdade de Engenharia Química de Lorena e o Grupo de Crescimento de Diamante e Materiais Relacionados, do Laboratório Associado de Sensores e Materiais do instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE).
É apresentado um estudo sistemático sobre o processo de obtenção, qualidade, caracterização e propriedades mecânicas dos filmes de diamante utilizando a técnica de deposição química a partir da fase vapor ("Chemical Vapor Deposition – CVD"), assistida por filamento quente. Para este estudo, foi utilizada como substrato a liga Ti6A14V, por ser de grande interesse tecnológico. Com o objetivo de obter filmes de alta qualidade e aderência foram estudados crescimentos em várias temperaturas de substrato para diferentes misturas gasosas. Além da mistura padrão de CH4 e H2, com diversas concentrações de metano, foram também avaliados os efeitos da adição de CF4. 
A morfologia, qualidade dos filmes de diamante-CVD e orientação cristalina foram analisadas por microscopia óptica, microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia de espalhamento Raman e difratometria de raios- X. Foram também utilizadas as técnicas por EDX ("Energy Dispersive X-Ray") e análise XPS ("X-Ray Photoelectron Spectroscopy") da liga, da interface e do filme. O estudo metalográfico detalhado foi realizado com o objetivo de avaliar as possíveis alterações da liga e da interface devido aos tratamentos superficiais para deposição e aderência do filme.
O "stress" total foi avaliado por espectroscopia de espalhamento Raman. A técnica de indentação Rockwell foi utilizada para avaliar a aderência. O teste de dureza Vickers foi empregada para avaliar a dureza nas diversas etapas de crescimento dos filmes de diamante.

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